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对称双连杆型真空机械手的动力学建模与控制研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2013
Authors:  黄玉钏
Adobe PDF(2395Kb)  |  Favorite  |  View/Download：489/36  |  Submit date：2013/08/19
真空机械手  运动学建模  轨迹规划  非均匀b 样条曲线  动力学建模  拉格朗日方法  模型预测控制  
FROG-LEG型真空机械手的动力学控制研究 期刊论文
四川大学学报(工程科学版), 2013, 卷号: 45, 期号: 3, 页码: 158-163
Authors:  黄玉钏;  曲道奎;  徐方
Adobe PDF(564Kb)  |  Favorite  |  View/Download：728/123  |  Submit date：2013/10/05
真空机械手  动力学  拉格朗日方程  转子磁链定向  动力学仿真  
CMP过程Run-to-Run预测控制方法研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2012
Authors:  王亮
Adobe PDF(1410Kb)  |  Favorite  |  View/Download：768/18  |  Submit date：2012/07/27
半导体制造  化学机械研磨  Run-to-run控制  预测控制  过程控制  
面向半导体设备的Interface A通信技术研究与开发 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2012
Authors:  叶家发
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工厂自动化  Semi  Interface a  设备数据采集  
面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法 专利
专利类型: 发明授权, 专利号: CN102455910B, 公开日期: 2012-05-16, 授权日期: 2014-01-15
Inventors:  于海斌;  徐皑冬;  刘明哲;  李正;  王锴;  金妮;  张吉龙;  于海斌;  徐皑冬;  刘明哲;  李正;  王锴;  金妮;  张吉龙
Adobe PDF(586Kb)  |  Favorite  |  View/Download：242/25  |  Submit date：2014/04/16
面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102455910A, 公开日期: 2012-05-16, 授权日期: 2014-01-15
Inventors:  于海斌;  徐皑冬;  刘明哲;  李正;  王锴;  金妮;  张吉龙
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基于自然正交补的真空机器人动力学建模 期刊论文
机器人, 2012, 卷号: 34, 期号: 6, 页码: 730-736
Authors:  黄玉钏;  曲道奎;  徐方
Adobe PDF(802Kb)  |  Favorite  |  View/Download：529/114  |  Submit date：2013/04/21
自然正交补  真空机器人  动力学  
真空并联机器人轨迹规划仿真 期刊论文
计算机仿真, 2012, 卷号: 29, 期号: 12, 页码: 211-215,228
Authors:  黄玉钏;  曲道奎;  徐方
Adobe PDF(959Kb)  |  Favorite  |  View/Download：607/144  |  Submit date：2013/04/21
真空并联机器人  运动学  轨迹规划  非均匀有理样条曲线  
并行集束型半导体装备稳态吞吐量模型研究 期刊论文
半导体技术, 2012, 卷号: 37, 期号: 11, 页码: 869-873
Authors:  郑秀红;  胡静涛
Adobe PDF(386Kb)  |  Favorite  |  View/Download：493/125  |  Submit date：2012/12/28
并行  集束型装备  吞吐量  模型  晶圆  
单臂集束型装备随机Petri网模型与性能分析 期刊论文
沈阳化工大学学报, 2012, 卷号: 26, 期号: 4, 页码: 360-364,369
Authors:  郑秀红;  胡静涛
Adobe PDF(798Kb)  |  Favorite  |  View/Download：333/71  |  Submit date：2013/04/21
随机petri网  集束型装备  马尔可夫过程  吞吐量