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| 对称双连杆型真空机械手的动力学建模与控制研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2013
Authors: 黄玉钏
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真空机械手 运动学建模 轨迹规划 非均匀b 样条曲线 动力学建模 拉格朗日方法 模型预测控制 |
| FROG-LEG型真空机械手的动力学控制研究 期刊论文
四川大学学报(工程科学版), 2013, 卷号: 45, 期号: 3, 页码: 158-163
Authors: 黄玉钏; 曲道奎; 徐方
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真空机械手 动力学 拉格朗日方程 转子磁链定向 动力学仿真 |
| CMP过程Run-to-Run预测控制方法研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2012
Authors: 王亮
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半导体制造 化学机械研磨 Run-to-run控制 预测控制 过程控制 |
| 面向半导体设备的Interface A通信技术研究与开发 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2012
Authors: 叶家发
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工厂自动化 Semi Interface a 设备数据采集 |
| 面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法 专利
专利类型: 发明授权, 专利号: CN102455910B, 公开日期: 2012-05-16, 授权日期: 2014-01-15
Inventors: 于海斌 ; 徐皑冬; 刘明哲; 李正; 王锴; 金妮; 张吉龙; 于海斌; 徐皑冬; 刘明哲; 李正; 王锴; 金妮; 张吉龙
View | Adobe PDF(586Kb) | Favorite | View/Download：228/25 | Submit date：2014/04/16 |
| 面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102455910A, 公开日期: 2012-05-16, 授权日期: 2014-01-15
Inventors: 于海斌; 徐皑冬; 刘明哲; 李正; 王锴; 金妮; 张吉龙
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| 基于自然正交补的真空机器人动力学建模 期刊论文
机器人, 2012, 卷号: 34, 期号: 6, 页码: 730-736
Authors: 黄玉钏; 曲道奎; 徐方
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自然正交补 真空机器人 动力学 |
| 真空并联机器人轨迹规划仿真 期刊论文
计算机仿真, 2012, 卷号: 29, 期号: 12, 页码: 211-215,228
Authors: 黄玉钏; 曲道奎; 徐方
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真空并联机器人 运动学 轨迹规划 非均匀有理样条曲线 |
| 并行集束型半导体装备稳态吞吐量模型研究 期刊论文
半导体技术, 2012, 卷号: 37, 期号: 11, 页码: 869-873
Authors: 郑秀红; 胡静涛
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并行 集束型装备 吞吐量 模型 晶圆 |
| 单臂集束型装备随机Petri网模型与性能分析 期刊论文
沈阳化工大学学报, 2012, 卷号: 26, 期号: 4, 页码: 360-364,369
Authors: 郑秀红; 胡静涛
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