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| 对称双连杆型真空机械手的动力学建模与控制研究 学位论文 博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2013 Authors: 黄玉钏
Adobe PDF(2395Kb)  |   Favorite  |  View/Download:489/36  |  Submit date:2013/08/19 真空机械手 运动学建模 轨迹规划 非均匀b 样条曲线 动力学建模 拉格朗日方法 模型预测控制 |
| FROG-LEG型真空机械手的动力学控制研究 期刊论文 四川大学学报(工程科学版), 2013, 卷号: 45, 期号: 3, 页码: 158-163 Authors: 黄玉钏; 曲道奎; 徐方
Adobe PDF(564Kb)  |   Favorite  |  View/Download:728/123  |  Submit date:2013/10/05 真空机械手 动力学 拉格朗日方程 转子磁链定向 动力学仿真 |
| CMP过程Run-to-Run预测控制方法研究 学位论文 博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2012 Authors: 王亮
Adobe PDF(1410Kb)  |   Favorite  |  View/Download:768/18  |  Submit date:2012/07/27 半导体制造 化学机械研磨 Run-to-run控制 预测控制 过程控制 |
| 面向半导体设备的Interface A通信技术研究与开发 学位论文 硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2012 Authors: 叶家发
Adobe PDF(1232Kb)  |   Favorite  |  View/Download:445/9  |  Submit date:2012/07/27 工厂自动化 Semi Interface a 设备数据采集 |
| 面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法 专利 专利类型: 发明授权, 专利号: CN102455910B, 公开日期: 2012-05-16, 授权日期: 2014-01-15 Inventors: 于海斌 ; 徐皑冬 ; 刘明哲 ; 李正 ; 王锴 ; 金妮 ; 张吉龙 ; 于海斌 ; 徐皑冬 ; 刘明哲 ; 李正 ; 王锴 ; 金妮 ; 张吉龙
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| 面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN102455910A, 公开日期: 2012-05-16, 授权日期: 2014-01-15 Inventors: 于海斌 ; 徐皑冬 ; 刘明哲 ; 李正 ; 王锴 ; 金妮 ; 张吉龙
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| 基于自然正交补的真空机器人动力学建模 期刊论文 机器人, 2012, 卷号: 34, 期号: 6, 页码: 730-736 Authors: 黄玉钏; 曲道奎; 徐方
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| 真空并联机器人轨迹规划仿真 期刊论文 计算机仿真, 2012, 卷号: 29, 期号: 12, 页码: 211-215,228 Authors: 黄玉钏; 曲道奎; 徐方
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| 并行集束型半导体装备稳态吞吐量模型研究 期刊论文 半导体技术, 2012, 卷号: 37, 期号: 11, 页码: 869-873 Authors: 郑秀红; 胡静涛
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| 单臂集束型装备随机Petri网模型与性能分析 期刊论文 沈阳化工大学学报, 2012, 卷号: 26, 期号: 4, 页码: 360-364,369 Authors: 郑秀红; 胡静涛
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