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基于Petri网的WIA-PA协议一致性测试方法研究与平台实现 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2015
Authors:  孙亮
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工业无线网络  Wia-pa  一致性测试  黑盒测试  Petri网  
基于设备生命周期Petri网的WIA-PA协议一致性测试方法 期刊论文
信息与控制, 2015, 卷号: 45, 期号: 6, 页码: 703-710, 716
Authors:  孙亮;  梁炜;  王恺;  张思超;  苗乔木
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Wia-pa协议  一致性测试  Petri网  测试平台  
并行集束型半导体装备稳态吞吐量模型研究 期刊论文
半导体技术, 2012, 卷号: 37, 期号: 11, 页码: 869-873
Authors:  郑秀红;  胡静涛
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并行  集束型装备  吞吐量  模型  晶圆  
集束型半导体装备建模与仿真技术研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2011
Authors:  郑秀红
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半导体制造  集束型  随机petri网  建模  仿真  
基于随机Petri网的集束装备模型及马尔可夫链分析 期刊论文
信息与控制, 2011, 卷号: 40, 期号: 4, 页码: 477-482
Authors:  郑秀红;  胡静涛;  于海斌
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随机petri网  模型  集束装备  马尔可夫链分析  吞吐率  机械臂  晶圆  加工过程  腔体  利用率  
虚拟半导体集束设备软件设计与开发 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2008
Authors:  石泽兴
Microsoft Word(1275Kb)  |  Favorite  |  View/Download：468/25  |  Submit date：2010/11/29
半导体集束设备  验证  模拟  Petri网  Vrml  
基于VRML的虚拟IC集束装备建模与仿真 期刊论文
仪器仪表学报, 2008, 卷号: 29, 期号: S, 页码: 278-282
Authors:  石泽兴;  胡静涛
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Ic集束装备  晶圆加工  Vrml  Petri网  仿真