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| 基于Petri网的WIA-PA协议一致性测试方法研究与平台实现 学位论文 硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2015 Authors: 孙亮
Adobe PDF(1989Kb)  |   Favorite  |  View/Download:174/7  |  Submit date:2015/08/20 工业无线网络 Wia-pa 一致性测试 黑盒测试 Petri网 |
| 基于设备生命周期Petri网的WIA-PA协议一致性测试方法 期刊论文 信息与控制, 2015, 卷号: 45, 期号: 6, 页码: 703-710, 716 Authors: 孙亮; 梁炜 ; 王恺 ; 张思超 ; 苗乔木
Adobe PDF(951Kb)  |   Favorite  |  View/Download:154/29  |  Submit date:2016/04/13 Wia-pa协议 一致性测试 Petri网 测试平台 |
| 并行集束型半导体装备稳态吞吐量模型研究 期刊论文 半导体技术, 2012, 卷号: 37, 期号: 11, 页码: 869-873 Authors: 郑秀红; 胡静涛
Adobe PDF(386Kb)  |   Favorite  |  View/Download:490/125  |  Submit date:2012/12/28 并行 集束型装备 吞吐量 模型 晶圆 |
| 集束型半导体装备建模与仿真技术研究 学位论文 博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2011 Authors: 郑秀红
Adobe PDF(6647Kb)  |   Favorite  |  View/Download:960/15  |  Submit date:2012/07/27 半导体制造 集束型 随机petri网 建模 仿真 |
| 基于随机Petri网的集束装备模型及马尔可夫链分析 期刊论文 信息与控制, 2011, 卷号: 40, 期号: 4, 页码: 477-482 Authors: 郑秀红; 胡静涛 ; 于海斌
Adobe PDF(376Kb)  |   Favorite  |  View/Download:480/24  |  Submit date:2012/05/29 随机petri网 模型 集束装备 马尔可夫链分析 吞吐率 机械臂 晶圆 加工过程 腔体 利用率 |
| 虚拟半导体集束设备软件设计与开发 学位论文 硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2008 Authors: 石泽兴
Microsoft Word(1275Kb)  |   Favorite  |  View/Download:481/26  |  Submit date:2010/11/29 半导体集束设备 验证 模拟 Petri网 Vrml |
| 基于VRML的虚拟IC集束装备建模与仿真 期刊论文 仪器仪表学报, 2008, 卷号: 29, 期号: S, 页码: 278-282 Authors: 石泽兴; 胡静涛
Adobe PDF(935Kb)  |   Favorite  |  View/Download:378/89  |  Submit date:2010/11/29 Ic集束装备 晶圆加工 Vrml Petri网 仿真 |