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FROG-LEG型真空机械手的动力学建模与仿真 期刊论文
中国机械工程, 2014, 卷号: 25, 期号: 4, 页码: 471-475, 490
Authors:  黄玉钏;  曲道奎;  徐方
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真空机械手  运动学  牛顿-欧拉法  动力学仿真  
基于机器视觉的晶圆预定位装置及方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2013-07-24,
Inventors:  吴清潇;  欧锦军;  朱枫;  郝颖明;  付双飞;  苗锡奎
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对称双连杆型真空机械手的动力学建模与控制研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2013
Authors:  黄玉钏
Adobe PDF(2395Kb)  |  Favorite  |  View/Download:426/31  |  Submit date:2013/08/19
真空机械手  运动学建模  轨迹规划  非均匀b 样条曲线  动力学建模  拉格朗日方法  模型预测控制  
玻璃基板搬运机器人参数辨识与误差补偿方法研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2013
Authors:  冯亚磊
Adobe PDF(4208Kb)  |  Favorite  |  View/Download:521/50  |  Submit date:2013/08/19
玻璃基板搬运机器人  零位参数  柔性参数  运动学参数  参数辨识  绝对定位误差  误差补偿  
半导体设备前端模块关键技术的研究与应用 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2013
Authors:  褚金钱
Adobe PDF(2697Kb)  |  Favorite  |  View/Download:386/8  |  Submit date:2013/08/19
装载端口  预对准  坐标系标定  
FROG-LEG型真空机械手的动力学控制研究 期刊论文
四川大学学报(工程科学版), 2013, 卷号: 45, 期号: 3, 页码: 158-163
Authors:  黄玉钏;  曲道奎;  徐方
Adobe PDF(564Kb)  |  Favorite  |  View/Download:693/117  |  Submit date:2013/10/05
真空机械手  动力学  拉格朗日方程  转子磁链定向  动力学仿真  
基于连杆理论的装载端口开门机构设计与运动学仿真 期刊论文
中国机械工程, 2013, 卷号: 24, 期号: 17, 页码: 2362-2367
Authors:  褚金钱;  徐方
Adobe PDF(565Kb)  |  Favorite  |  View/Download:266/36  |  Submit date:2013/12/26
装载端口  仿真模型  平面连杆机构  运动学  
真空机械手碰撞检测及轨迹优化 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2011
Authors:  邹风山
Adobe PDF(3781Kb)  |  Favorite  |  View/Download:562/21  |  Submit date:2012/07/27
真空机械手  碰撞检测  轨迹规划  开放式控制系统  
基于机器视觉的高精度晶圆对准系统 期刊论文
仪器仪表学报, 2011, 卷号: 32, 期号: S1, 页码: 195-198
Authors:  吴清潇;  苗锡奎;  欧锦军;  郝颖明;  朱枫
Adobe PDF(674Kb)  |  Favorite  |  View/Download:646/219  |  Submit date:2012/05/29
机器视觉  晶圆对准  边缘提取  
直驱型真空机械手控制方法研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2010
Authors:  黄梁松
Adobe PDF(2304Kb)  |  Favorite  |  View/Download:481/13  |  Submit date:2012/07/27
直驱型真空机械手  三相独立h桥  低频谐振控制  机械手模型  模型校正控制