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球形抛光工具的研抛工艺研究 期刊论文
航空精密制造技术, 2015, 卷号: 51, 期号: 6, 页码: 5-8
Authors:  李静;  赵吉宾;  关丽荣;  杨林;  赵春驰
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复杂曲面  球形抛光工具  Preston方程  表面材料去除  
有机玻璃研抛机器人自动化工艺研究 期刊论文
机械设计与制造, 2014, 期号: 8, 页码: 151-154
Authors:  刘广保;  赵吉宾;  陈白宁;  杨林
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机器人自动化研抛系统  有机玻璃(Pmma)  去除模型  参数优化  Robotic Automation Grinding And Polishing System  Pmma  The Material Removal Model  Parameter Optimization  
CMP过程Run-to-Run预测控制方法研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2012
Authors:  王亮
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半导体制造  化学机械研磨  Run-to-run控制  预测控制  过程控制  
基于神经网络的CMP过程智能R2R预测控制 期刊论文
半导体技术, 2012, 卷号: 37, 期号: 4, 页码: 305-311
Authors:  王亮;  胡静涛
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化学机械研磨  径向基函数神经网络  预测控制  批次控制  微粒群滚动优化  
基于灰色模型的CMP过程免疫预测R2R控制 期刊论文
仪器仪表学报, 2012, 卷号: 33, 期号: 2, 页码: 306-314
Authors:  王亮;  胡静涛
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化学机械研磨  灰色模型  克隆选择  预测控制  Run-to-run控制