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| 球形抛光工具的研抛工艺研究 期刊论文 航空精密制造技术, 2015, 卷号: 51, 期号: 6, 页码: 5-8 Authors: 李静 ; 赵吉宾 ; 关丽荣; 杨林 ; 赵春驰
View  |   Adobe PDF(921Kb)  |   Favorite  |  View/Download:138/21  |  Submit date:2016/01/30 复杂曲面 球形抛光工具 Preston方程 表面材料去除 |
| 有机玻璃研抛机器人自动化工艺研究 期刊论文 机械设计与制造, 2014, 期号: 8, 页码: 151-154 Authors: 刘广保 ; 赵吉宾 ; 陈白宁; 杨林
View  |   Adobe PDF(709Kb)  |   Favorite  |  View/Download:307/57  |  Submit date:2014/11/03 机器人自动化研抛系统 有机玻璃(Pmma) 去除模型 参数优化 Robotic Automation Grinding And Polishing System Pmma The Material Removal Model Parameter Optimization |
| CMP过程Run-to-Run预测控制方法研究 学位论文 博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2012 Authors: 王亮
Adobe PDF(1410Kb)  |   Favorite  |  View/Download:734/16  |  Submit date:2012/07/27 半导体制造 化学机械研磨 Run-to-run控制 预测控制 过程控制 |
| 基于神经网络的CMP过程智能R2R预测控制 期刊论文 半导体技术, 2012, 卷号: 37, 期号: 4, 页码: 305-311 Authors: 王亮; 胡静涛
View  |   Adobe PDF(1771Kb)  |   Favorite  |  View/Download:521/145  |  Submit date:2012/10/24 化学机械研磨 径向基函数神经网络 预测控制 批次控制 微粒群滚动优化 |
| 基于灰色模型的CMP过程免疫预测R2R控制 期刊论文 仪器仪表学报, 2012, 卷号: 33, 期号: 2, 页码: 306-314 Authors: 王亮; 胡静涛
View  |   Adobe PDF(720Kb)  |   Favorite  |  View/Download:586/146  |  Submit date:2012/10/24 化学机械研磨 灰色模型 克隆选择 预测控制 Run-to-run控制 |