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半导体制造过程R2R控制方法研究进展 期刊论文
现代制造工程, 2013, 期号: 3, 页码: 4-10,99
Authors:  王亮;  胡静涛;  王志艳
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半导体制造  过程控制  R2r控制方法  指数加权移动平均  预测控制  
CMP过程Run-to-Run预测控制方法研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2012
Authors:  王亮
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半导体制造  化学机械研磨  Run-to-run控制  预测控制  过程控制  
CMP过程多变量免疫预测R2R控制方法 期刊论文
仪器仪表学报, 2012, 卷号: 33, 期号: 11, 页码: 2586-2593
Authors:  王亮;  胡静涛
View  |  Adobe PDF(1553Kb)  |  Favorite  |  View/Download:473/96  |  Submit date:2012/12/28
化学机械研磨  R2r控制  最小二乘支持向量机  贝叶斯证据框架  克隆选择  预测控制