Selected(0)Clear
Items/Page: Sort: |
| 面向半导体制造设备的数据采集实现方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN103491059A, 公开日期: 2014-01-01, Inventors: 刘明哲 ; 徐皑冬 ; 叶家发; 王亚楠
Adobe PDF(1899Kb)  |   Favorite  |  View/Download:248/53  |  Submit date:2014/04/03 |
| 半导体制造过程R2R控制方法研究进展 期刊论文 现代制造工程, 2013, 期号: 3, 页码: 4-10,99 Authors: 王亮; 胡静涛 ; 王志艳
Adobe PDF(661Kb)  |   Favorite  |  View/Download:392/75  |  Submit date:2013/10/05 半导体制造 过程控制 R2r控制方法 指数加权移动平均 预测控制 |
| CMP过程Run-to-Run预测控制方法研究 学位论文 博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2012 Authors: 王亮
Adobe PDF(1410Kb)  |   Favorite  |  View/Download:768/18  |  Submit date:2012/07/27 半导体制造 化学机械研磨 Run-to-run控制 预测控制 过程控制 |
| 面向半导体设备的Interface A通信技术研究与开发 学位论文 硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2012 Authors: 叶家发
Adobe PDF(1232Kb)  |   Favorite  |  View/Download:442/9  |  Submit date:2012/07/27 工厂自动化 Semi Interface a 设备数据采集 |
| CMP过程多变量免疫预测R2R控制方法 期刊论文 仪器仪表学报, 2012, 卷号: 33, 期号: 11, 页码: 2586-2593 Authors: 王亮; 胡静涛
Adobe PDF(1553Kb)  |   Favorite  |  View/Download:499/98  |  Submit date:2012/12/28 化学机械研磨 R2r控制 最小二乘支持向量机 贝叶斯证据框架 克隆选择 预测控制 |
| 面向半导体设备的Interface A通信方法研究 期刊论文 机械设计与制造, 2012, 期号: 5, 页码: 273-275 Authors: 叶家发; 刘明哲
Adobe PDF(229Kb)  |   Favorite  |  View/Download:573/157  |  Submit date:2012/10/24 半导体设备 Interface a 数据采集 工厂自动化 |
| 基于LS-SVM模型和扰动估计的光刻过程智能R2R预测控制 期刊论文 计算机测量与控制, 2012, 卷号: 20, 期号: 8, 页码: 2124-2126, 2142 Authors: 王亮; 胡静涛
Adobe PDF(451Kb)  |   Favorite  |  View/Download:541/135  |  Submit date:2012/12/28 光刻过程 最小二乘支持向量机 扰动估计 Run-to-run控制 预测控制 克隆选择 |
| 基于灰色模型的CMP过程免疫预测R2R控制 期刊论文 仪器仪表学报, 2012, 卷号: 33, 期号: 2, 页码: 306-314 Authors: 王亮; 胡静涛
Adobe PDF(720Kb)  |   Favorite  |  View/Download:602/149  |  Submit date:2012/10/24 化学机械研磨 灰色模型 克隆选择 预测控制 Run-to-run控制 |
| 光刻过程RtR控制方法研究进展分析 期刊论文 半导体技术, 2011, 卷号: 36, 期号: 3, 页码: 199-205 Authors: 王亮; 胡静涛
Adobe PDF(359Kb)  |   Favorite  |  View/Download:606/196  |  Submit date:2012/05/29 半导体制造业 光刻过程 Rtr控制 过程控制 模型预测控制 多变量控制器 控制方法 研究进展 关键尺寸 过程建模 |