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集成电路封装测试行业的生产设备管理系统设计 期刊论文
科技广场, 2016, 期号: 3, 页码: 47-49
Authors:  马兆宁;  王巍
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分析决策  信息采集  集成电路封装测试  
半导体设备前端模块关键技术的研究与应用 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2013
Authors:  褚金钱
Adobe PDF(2697Kb)  |  Favorite  |  View/Download:408/8  |  Submit date:2013/08/19
装载端口  预对准  坐标系标定  
半导体装备物料传输软件平台研究与开发 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2013
Authors:  王亚楠
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半导体装备  软件平台  工厂自动化  物料传输系统  
基于连杆理论的装载端口开门机构设计与运动学仿真 期刊论文
中国机械工程, 2013, 卷号: 24, 期号: 17, 页码: 2362-2367
Authors:  褚金钱;  徐方
Adobe PDF(565Kb)  |  Favorite  |  View/Download:274/38  |  Submit date:2013/12/26
装载端口  仿真模型  平面连杆机构  运动学  
SNMP在半导体装备控制系统中的应用 期刊论文
机械设计与制造, 2013, 期号: 1, 页码: 72-74
Authors:  王亚楠;  刘明哲;  叶家发
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简单网络管理协议  snmp++开发包  半导体  通信系统  一致性需求  不间断电源  
CMP过程Run-to-Run预测控制方法研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2012
Authors:  王亮
Adobe PDF(1410Kb)  |  Favorite  |  View/Download:740/16  |  Submit date:2012/07/27
半导体制造  化学机械研磨  Run-to-run控制  预测控制  过程控制  
面向半导体设备的Interface A通信技术研究与开发 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2012
Authors:  叶家发
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工厂自动化  Semi  Interface a  设备数据采集  
并行集束型半导体装备稳态吞吐量模型研究 期刊论文
半导体技术, 2012, 卷号: 37, 期号: 11, 页码: 869-873
Authors:  郑秀红;  胡静涛
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并行  集束型装备  吞吐量  模型  晶圆  
单臂集束型装备随机Petri网模型与性能分析 期刊论文
沈阳化工大学学报, 2012, 卷号: 26, 期号: 4, 页码: 360-364,369
Authors:  郑秀红;  胡静涛
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随机petri网  集束型装备  马尔可夫过程  吞吐量  
面向半导体设备的Interface A通信方法研究 期刊论文
机械设计与制造, 2012, 期号: 5, 页码: 273-275
Authors:  叶家发;  刘明哲
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半导体设备  Interface a  数据采集  工厂自动化