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基于自适应H∞滤波的组合导航方法研究 期刊论文
仪器仪表学报, 2014, 卷号: 35, 期号: 5, 页码: 1013-1021
Authors:  刘晓光;  胡静涛;  王鹤
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组合导航  H∞鲁棒滤波  自适应  数据融合  
基于灰色模型的CMP过程免疫预测R2R控制 期刊论文
仪器仪表学报, 2012, 卷号: 33, 期号: 2, 页码: 306-314
Authors:  王亮;  胡静涛
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化学机械研磨  灰色模型  克隆选择  预测控制  Run-to-run控制  
半导体设备控制中SEMI标准模型研究 期刊论文
仪器仪表学报, 2008, 卷号: 29, 期号: S, 页码: 687-690
Authors:  刘明哲;  徐皑冬;  于海斌
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集成电路  电路制造  电路工艺  半导体设备  
半导体装备控制系统公共IO服务接口研究 期刊论文
仪器仪表学报, 2007, 卷号: 28, 期号: S, 页码: 752-754
Authors:  刘明哲;  徐皑冬;  康凯
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公共io服务  半导体装备  现场总线  控制系统  接口  通信标准