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半导体设备控制中SEMI标准模型研究 期刊论文
仪器仪表学报, 2008, 卷号: 29, 期号: S, 页码: 687-690
Authors:  刘明哲;  徐皑冬;  于海斌
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集成电路  电路制造  电路工艺  半导体设备  
半导体装备控制系统公共IO服务接口研究 期刊论文
仪器仪表学报, 2007, 卷号: 28, 期号: S, 页码: 752-754
Authors:  刘明哲;  徐皑冬;  康凯
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公共io服务  半导体装备  现场总线  控制系统  接口  通信标准