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基于Logistic回归的湿法刻蚀腔体气流场参数分析 期刊论文
机械设计与制造, 2012, 期号: 6, 页码: 223-225
Authors:  王靖震;  刘伟军
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Logistic回归模型  正交试验设计  湿法刻蚀  气流场