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基于模糊模型的CMP过程智能R2R预测控制方法 期刊论文
计算机测量与控制, 2012, 卷号: 20, 期号: 6, 页码: 1558-1561
Authors:  王亮;  胡静涛
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化学机械研磨  T-s模糊模型  批次控制  预测控制  克隆选择