SIA OpenIR

Browse/Search Results:  1-2 of 2 Help

Filters    
Selected(0)Clear Items/Page:    Sort:
基于模糊模型的CMP过程智能R2R预测控制方法 期刊论文
计算机测量与控制, 2012, 卷号: 20, 期号: 6, 页码: 1558-1561
Authors:  王亮;  胡静涛
Adobe PDF(1700Kb)  |  Favorite  |  View/Download:439/84  |  Submit date:2012/12/28
化学机械研磨  T-s模糊模型  批次控制  预测控制  克隆选择  
基于LS-SVM模型和扰动估计的光刻过程智能R2R预测控制 期刊论文
计算机测量与控制, 2012, 卷号: 20, 期号: 8, 页码: 2124-2126, 2142
Authors:  王亮;  胡静涛
Adobe PDF(451Kb)  |  Favorite  |  View/Download:519/135  |  Submit date:2012/12/28
光刻过程  最小二乘支持向量机  扰动估计  Run-to-run控制  预测控制  克隆选择