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基于灰色模型的CMP过程免疫预测R2R控制 期刊论文
仪器仪表学报, 2012, 卷号: 33, 期号: 2, 页码: 306-314
Authors:  王亮;  胡静涛
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化学机械研磨  灰色模型  克隆选择  预测控制  Run-to-run控制  
基于机器视觉的高精度晶圆对准系统 期刊论文
仪器仪表学报, 2011, 卷号: 32, 期号: S1, 页码: 195-198
Authors:  吴清潇;  苗锡奎;  欧锦军;  郝颖明;  朱枫
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机器视觉  晶圆对准  边缘提取  
半导体设备控制中SEMI标准模型研究 期刊论文
仪器仪表学报, 2008, 卷号: 29, 期号: S, 页码: 687-690
Authors:  刘明哲;  徐皑冬;  于海斌
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集成电路  电路制造  电路工艺  半导体设备  
基于VRML的虚拟IC集束装备建模与仿真 期刊论文
仪器仪表学报, 2008, 卷号: 29, 期号: S, 页码: 278-282
Authors:  石泽兴;  胡静涛
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Ic集束装备  晶圆加工  Vrml  Petri网  仿真  
基于时间Petri网的制造过程模型研究 期刊论文
仪器仪表学报, 2008, 卷号: 29, 期号: S, 页码: 484-488
Authors:  刘昶;  史海波
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时间petri网  随机故障  制造过程模型  
真空机器人时间最优轨迹规划 期刊论文
仪器仪表学报, 2007, 卷号: 28, 期号: S, 页码: 755-758
Authors:  谢冬梅;  曲道奎;  徐方
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真空机器人  时间最优  并联机构  动力学建模  轨迹规划  
基于启发式搜索的半导体集束设备调度 期刊论文
仪器仪表学报, 2007, 卷号: 28, 期号: S, 页码: 545-548
Authors:  耿沿锋;  康凯;  王宏
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集束设备  调度  启式搜索  
半导体装备控制系统公共IO服务接口研究 期刊论文
仪器仪表学报, 2007, 卷号: 28, 期号: S, 页码: 752-754
Authors:  刘明哲;  徐皑冬;  康凯
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公共io服务  半导体装备  现场总线  控制系统  接口  通信标准