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并行集束型半导体装备稳态吞吐量模型研究 期刊论文
半导体技术, 2012, 卷号: 37, 期号: 11, 页码: 869-873
Authors:  郑秀红;  胡静涛
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并行  集束型装备  吞吐量  模型  晶圆  
基于LS-SVM的光刻过程R2R预测控制方法 期刊论文
半导体技术, 2012, 卷号: 37, 期号: 6, 页码: 482-488
Authors:  王亮;  胡静涛
Adobe PDF(523Kb)  |  Favorite  |  View/Download:498/163  |  Submit date:2012/10/24
光刻过程  关键尺寸  最小二乘支持向量机  预测控制  批次控制  微粒群算法  
基于神经网络的CMP过程智能R2R预测控制 期刊论文
半导体技术, 2012, 卷号: 37, 期号: 4, 页码: 305-311
Authors:  王亮;  胡静涛
Adobe PDF(1771Kb)  |  Favorite  |  View/Download:537/147  |  Submit date:2012/10/24
化学机械研磨  径向基函数神经网络  预测控制  批次控制  微粒群滚动优化  
光刻过程RtR控制方法研究进展分析 期刊论文
半导体技术, 2011, 卷号: 36, 期号: 3, 页码: 199-205
Authors:  王亮;  胡静涛
Adobe PDF(359Kb)  |  Favorite  |  View/Download:607/196  |  Submit date:2012/05/29
半导体制造业  光刻过程  Rtr控制  过程控制  模型预测控制  多变量控制器  控制方法  研究进展  关键尺寸  过程建模