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单臂SCARA手的动力学建模与参数辨识 期刊论文
机械设计与制造, 2016, 期号: 3, 页码: 82-85
Authors:  赵彬;  邹风山;  刘晓帆;  刘振宇
Adobe PDF(349Kb)  |  Favorite  |  View/Download:274/74  |  Submit date:2016/04/13
真空机械手  参数辨识  拉格朗日  动力学  
纳米银均匀喷射过程的数值计算与仿真 期刊论文
机械设计与制造, 2016, 期号: 10, 页码: 125-127, 131
Authors:  张磊;  朱云龙;  程晓鼎;  王驰远
Adobe PDF(331Kb)  |  Favorite  |  View/Download:184/19  |  Submit date:2016/11/21
微滴喷射  纳米银  流体体积法  
单臂SCARA真空手运动学建模与仿真 期刊论文
机械设计与制造, 2014, 期号: 8, 页码: 183-185
Authors:  赵彬;  刘振宇 邹风山;  蒋哲文
Adobe PDF(679Kb)  |  Favorite  |  View/Download:289/73  |  Submit date:2014/11/03
真空手  单臂scara  仿真平台  运动学  Robot工具箱  
ExtendSim仿真在半导体生产线动态调度研究中的应用 期刊论文
机械设计与制造, 2014, 期号: 1, 页码: 265-268
Authors:  王玉;  刘昶
Adobe PDF(566Kb)  |  Favorite  |  View/Download:299/47  |  Submit date:2014/08/10
仿真  建模  Extendsim  半导体封装生产线  动态调度  
SNMP在半导体装备控制系统中的应用 期刊论文
机械设计与制造, 2013, 期号: 1, 页码: 72-74
Authors:  王亚楠;  刘明哲;  叶家发
Adobe PDF(356Kb)  |  Favorite  |  View/Download:395/101  |  Submit date:2013/04/21
简单网络管理协议  snmp++开发包  半导体  通信系统  一致性需求  不间断电源  
基于Logistic回归的湿法刻蚀腔体气流场参数分析 期刊论文
机械设计与制造, 2012, 期号: 6, 页码: 223-225
Authors:  王靖震;  刘伟军
Adobe PDF(402Kb)  |  Favorite  |  View/Download:599/153  |  Submit date:2012/10/24
Logistic回归模型  正交试验设计  湿法刻蚀  气流场  
基于均匀设计方法的热板研究 期刊论文
机械设计与制造, 2012, 期号: 5, 页码: 121-123
Authors:  王靖震;  刘伟军
Adobe PDF(315Kb)  |  Favorite  |  View/Download:531/171  |  Submit date:2012/10/24
热板  温度场  回归模型  均匀设计  
面向半导体设备的Interface A通信方法研究 期刊论文
机械设计与制造, 2012, 期号: 5, 页码: 273-275
Authors:  叶家发;  刘明哲
Adobe PDF(229Kb)  |  Favorite  |  View/Download:573/157  |  Submit date:2012/10/24
半导体设备  Interface a  数据采集  工厂自动化