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洁净机器人反应转矩观测与碰撞保护研究 期刊论文
计算机测量与控制, 2016, 卷号: 24, 期号: 5, 页码: 246-250
Authors:  宋吉来;  徐方;  邹风山
Adobe PDF(722Kb)  |  Favorite  |  View/Download:230/24  |  Submit date:2016/08/13
机器人控制  机器人动力学  碰撞保护  关节转矩控制  系统辨识  
基于LS-SVM模型和扰动估计的光刻过程智能R2R预测控制 期刊论文
计算机测量与控制, 2012, 卷号: 20, 期号: 8, 页码: 2124-2126, 2142
Authors:  王亮;  胡静涛
Adobe PDF(451Kb)  |  Favorite  |  View/Download:541/135  |  Submit date:2012/12/28
光刻过程  最小二乘支持向量机  扰动估计  Run-to-run控制  预测控制  克隆选择  
基于模糊模型的CMP过程智能R2R预测控制方法 期刊论文
计算机测量与控制, 2012, 卷号: 20, 期号: 6, 页码: 1558-1561
Authors:  王亮;  胡静涛
Adobe PDF(1700Kb)  |  Favorite  |  View/Download:459/85  |  Submit date:2012/12/28
化学机械研磨  T-s模糊模型  批次控制  预测控制  克隆选择