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| 光诱导微纳一体化制造方法及其应用 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2015
Authors: 刘娜
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光诱导电液动力学 光诱导介电泳力 微纳米材料的操控和装配 光诱导电沉积 法拉第反应 微纳器件制造 |
| 一种基于CAN总线的胶泵控制系统及其控制方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104675684A, 公开日期: 2015-06-03, 授权日期: 2017-03-01
Inventors: 胡静涛; 张吉龙; 曹云侠; 迟浩东; 白晓平; 胡和春
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| 一种面向半导体生产线搬运系统多天车协调调度方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104678915A, 公开日期: 2015-06-03, 授权日期: 2017-04-26
Inventors: 王晨曦; 刘明哲; 徐皑冬; 金妮
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| 一种IC装备人机交互界面可定制数据显示方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104679499A, 公开日期: 2015-06-03,
Inventors: 王晨曦; 刘明哲; 徐皑冬; 金妮
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| 一种面向半导体生产线搬运系统软件故障快速恢复方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104679710A, 公开日期: 2015-06-03,
Inventors: 刘明哲; 徐皑冬; 金妮; 王晨曦
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| 扫描探针显微镜研制中的若干关键技术研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2015
Authors: 王栋
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扫描探针显微镜 原子力显微镜 关键技术 迟滞前馈校正 幅值检测 |
| 基于拉格朗日松弛的混合流水车间优化调度研究 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2015
Authors: 丁小丽
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混合流水车间 拉格朗日松弛 调度 |
| 集成电路生产线搬运系统的高性能日志记录查询方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104636353A, 公开日期: 2015-05-20, 授权日期: 2017-09-15
Inventors: 于海斌; 徐皑冬; 刘明哲; 康凯
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| 一种面向半导体生产线搬运系统天车路线规划方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104567854A, 公开日期: 2015-04-29,
Inventors: 徐皑冬; 刘明哲; 王晨曦; 金妮
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| 面向半导体生产线搬运系统的轨道与天车协调控制方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104555743A, 公开日期: 2015-04-29, 授权日期: 2016-08-17
Inventors: 刘明哲; 徐皑冬; 金妮; 王晨曦
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