SIA OpenIR

Browse/Search Results:  1-10 of 38 Help

Filters    
Selected(0)Clear Items/Page:    Sort:
一种涂胶显影设备运动参数检测装置及方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN111829433A, 公开日期: 2020-10-27,
Inventors:  金妮;  徐皑东;  刘明哲;  张吉龙;  王晨曦;  王锴;  王志平;  闫炳均;  胡波
Adobe PDF(537Kb)  |  Favorite  |  View/Download:27/0  |  Submit date:2020/10/31
一种基于二维反馈控制的AFM三维测量方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN110068707A, 公开日期: 2019-07-30,
Inventors:  刘连庆;  于鹏;  刘柱;  吴森;  杨洋;  马骏驰
Adobe PDF(845Kb)  |  Favorite  |  View/Download:73/14  |  Submit date:2019/08/10
一种基于CAN总线的胶泵控制系统及其控制方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104675684A, 公开日期: 2015-06-03, 授权日期: 2017-03-01
Inventors:  胡静涛;  张吉龙;  曹云侠;  迟浩东;  白晓平;  胡和春
Adobe PDF(1342Kb)  |  Favorite  |  View/Download:262/53  |  Submit date:2015/07/01
一种面向半导体生产线搬运系统多天车协调调度方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104678915A, 公开日期: 2015-06-03, 授权日期: 2017-04-26
Inventors:  王晨曦;  刘明哲;  徐皑冬;  金妮
Adobe PDF(693Kb)  |  Favorite  |  View/Download:251/69  |  Submit date:2015/07/01
一种IC装备人机交互界面可定制数据显示方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104679499A, 公开日期: 2015-06-03,
Inventors:  王晨曦;  刘明哲;  徐皑冬;  金妮
Adobe PDF(1082Kb)  |  Favorite  |  View/Download:200/45  |  Submit date:2015/07/01
一种面向半导体生产线搬运系统软件故障快速恢复方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104679710A, 公开日期: 2015-06-03,
Inventors:  刘明哲;  徐皑冬;  金妮;  王晨曦
Adobe PDF(563Kb)  |  Favorite  |  View/Download:171/36  |  Submit date:2015/07/01
集成电路生产线搬运系统的高性能日志记录查询方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104636353A, 公开日期: 2015-05-20, 授权日期: 2017-09-15
Inventors:  于海斌;  徐皑冬;  刘明哲;  康凯
Adobe PDF(966Kb)  |  Favorite  |  View/Download:148/54  |  Submit date:2015/07/01
一种面向半导体生产线搬运系统天车路线规划方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104567854A, 公开日期: 2015-04-29,
Inventors:  徐皑冬;  刘明哲;  王晨曦;  金妮
Adobe PDF(1018Kb)  |  Favorite  |  View/Download:176/37  |  Submit date:2015/07/01
面向半导体生产线搬运系统的轨道与天车协调控制方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104555743A, 公开日期: 2015-04-29, 授权日期: 2016-08-17
Inventors:  刘明哲;  徐皑冬;  金妮;  王晨曦
Adobe PDF(660Kb)  |  Favorite  |  View/Download:173/41  |  Submit date:2015/07/01
一种多腔室晶圆加工设备传输控制系统 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104281095A, 公开日期: 2015-01-14,
Inventors:  刘明哲;  徐皑冬;  王亚楠;  金妮;  王晨曦;  刘元锋
Adobe PDF(1568Kb)  |  Favorite  |  View/Download:243/65  |  Submit date:2015/01/20