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| 一种涂胶显影设备运动参数检测装置及方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN111829433A, 公开日期: 2020-10-27,
Inventors: 金妮 ; 徐皑东; 刘明哲; 张吉龙; 王晨曦; 王锴; 王志平; 闫炳均; 胡波
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| 一种基于二维反馈控制的AFM三维测量方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN110068707A, 公开日期: 2019-07-30,
Inventors: 刘连庆; 于鹏; 刘柱; 吴森; 杨洋; 马骏驰
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| 一种基于CAN总线的胶泵控制系统及其控制方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104675684A, 公开日期: 2015-06-03, 授权日期: 2017-03-01
Inventors: 胡静涛; 张吉龙; 曹云侠; 迟浩东; 白晓平; 胡和春
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| 一种面向半导体生产线搬运系统多天车协调调度方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104678915A, 公开日期: 2015-06-03, 授权日期: 2017-04-26
Inventors: 王晨曦; 刘明哲; 徐皑冬; 金妮
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| 一种IC装备人机交互界面可定制数据显示方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104679499A, 公开日期: 2015-06-03,
Inventors: 王晨曦; 刘明哲; 徐皑冬; 金妮
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| 一种面向半导体生产线搬运系统软件故障快速恢复方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104679710A, 公开日期: 2015-06-03,
Inventors: 刘明哲; 徐皑冬; 金妮; 王晨曦
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| 集成电路生产线搬运系统的高性能日志记录查询方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104636353A, 公开日期: 2015-05-20, 授权日期: 2017-09-15
Inventors: 于海斌; 徐皑冬; 刘明哲; 康凯
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| 一种面向半导体生产线搬运系统天车路线规划方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104567854A, 公开日期: 2015-04-29,
Inventors: 徐皑冬; 刘明哲; 王晨曦; 金妮
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| 面向半导体生产线搬运系统的轨道与天车协调控制方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104555743A, 公开日期: 2015-04-29, 授权日期: 2016-08-17
Inventors: 刘明哲; 徐皑冬; 金妮; 王晨曦
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| 一种多腔室晶圆加工设备传输控制系统 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104281095A, 公开日期: 2015-01-14,
Inventors: 刘明哲; 徐皑冬; 王亚楠; 金妮; 王晨曦; 刘元锋
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