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| 一种涂胶显影设备运动参数检测装置及方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN111829433A, 公开日期: 2020-10-27,
Inventors: 金妮 ; 徐皑东; 刘明哲; 张吉龙; 王晨曦; 王锴; 王志平; 闫炳均; 胡波
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| 一种面向半导体生产线搬运系统多天车协调调度方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104678915A, 公开日期: 2015-06-03, 授权日期: 2017-04-26
Inventors: 王晨曦; 刘明哲; 徐皑冬; 金妮
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| 一种IC装备人机交互界面可定制数据显示方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104679499A, 公开日期: 2015-06-03,
Inventors: 王晨曦; 刘明哲; 徐皑冬; 金妮
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| 一种面向半导体生产线搬运系统软件故障快速恢复方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104679710A, 公开日期: 2015-06-03,
Inventors: 刘明哲; 徐皑冬; 金妮; 王晨曦
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| 一种面向半导体生产线搬运系统天车路线规划方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104567854A, 公开日期: 2015-04-29,
Inventors: 徐皑冬; 刘明哲; 王晨曦; 金妮
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| 面向半导体生产线搬运系统的轨道与天车协调控制方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104555743A, 公开日期: 2015-04-29, 授权日期: 2016-08-17
Inventors: 刘明哲; 徐皑冬; 金妮; 王晨曦
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| 一种多腔室晶圆加工设备传输控制系统 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104281095A, 公开日期: 2015-01-14,
Inventors: 刘明哲; 徐皑冬; 王亚楠; 金妮; 王晨曦; 刘元锋
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| 一种IC装备多数据源曲线绘制系统及其设计方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104281438A, 公开日期: 2015-01-14,
Inventors: 金妮; 徐皑冬; 刘明哲; 王锴; 王晨曦
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| 面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法 专利
专利类型: 发明授权, 专利号: CN102455910B, 公开日期: 2012-05-16, 授权日期: 2014-01-15
Inventors: 于海斌; 徐皑冬; 刘明哲; 李正; 王锴; 金妮; 张吉龙; 于海斌; 徐皑冬; 刘明哲; 李正; 王锴; 金妮; 张吉龙
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| 面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102455910A, 公开日期: 2012-05-16, 授权日期: 2014-01-15
Inventors: 于海斌; 徐皑冬; 刘明哲; 李正; 王锴; 金妮; 张吉龙
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