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一种涂胶显影设备运动参数检测装置及方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN111829433A, 公开日期: 2020-10-27,
Inventors:  金妮;  徐皑东;  刘明哲;  张吉龙;  王晨曦;  王锴;  王志平;  闫炳均;  胡波
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一种面向半导体生产线搬运系统多天车协调调度方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104678915A, 公开日期: 2015-06-03, 授权日期: 2017-04-26
Inventors:  王晨曦;  刘明哲;  徐皑冬;  金妮
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一种IC装备人机交互界面可定制数据显示方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104679499A, 公开日期: 2015-06-03,
Inventors:  王晨曦;  刘明哲;  徐皑冬;  金妮
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一种面向半导体生产线搬运系统软件故障快速恢复方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104679710A, 公开日期: 2015-06-03,
Inventors:  刘明哲;  徐皑冬;  金妮;  王晨曦
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集成电路生产线搬运系统的高性能日志记录查询方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104636353A, 公开日期: 2015-05-20, 授权日期: 2017-09-15
Inventors:  于海斌;  徐皑冬;  刘明哲;  康凯
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一种面向半导体生产线搬运系统天车路线规划方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104567854A, 公开日期: 2015-04-29,
Inventors:  徐皑冬;  刘明哲;  王晨曦;  金妮
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面向半导体生产线搬运系统的轨道与天车协调控制方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104555743A, 公开日期: 2015-04-29, 授权日期: 2016-08-17
Inventors:  刘明哲;  徐皑冬;  金妮;  王晨曦
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一种多腔室晶圆加工设备传输控制系统 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104281095A, 公开日期: 2015-01-14,
Inventors:  刘明哲;  徐皑冬;  王亚楠;  金妮;  王晨曦;  刘元锋
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一种IC装备多数据源曲线绘制系统及其设计方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104281438A, 公开日期: 2015-01-14,
Inventors:  金妮;  徐皑冬;  刘明哲;  王锴;  王晨曦
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一种面向有道岔变换的搬运系统天车运动控制方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN103848343A, 公开日期: 2014-06-11, 授权日期: 2015-09-09
Inventors:  徐皑冬;  刘明哲;  康凯;  林跃
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