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集成电路生产线搬运系统的高性能日志记录查询方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104636353A, 公开日期: 2015-05-20, 授权日期: 2017-09-15
Inventors:  于海斌;  徐皑冬;  刘明哲;  康凯
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面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法 专利
专利类型: 发明授权, 专利号: CN102455910B, 公开日期: 2012-05-16, 授权日期: 2014-01-15
Inventors:  于海斌;  徐皑冬;  刘明哲;  李正;  王锴;  金妮;  张吉龙;  于海斌;  徐皑冬;  刘明哲;  李正;  王锴;  金妮;  张吉龙
Adobe PDF(586Kb)  |  Favorite  |  View/Download:242/25  |  Submit date:2014/04/16
面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102455910A, 公开日期: 2012-05-16, 授权日期: 2014-01-15
Inventors:  于海斌;  徐皑冬;  刘明哲;  李正;  王锴;  金妮;  张吉龙
Adobe PDF(771Kb)  |  Favorite  |  View/Download:264/50  |  Submit date:2013/10/15
基于随机Petri网的集束装备模型及马尔可夫链分析 期刊论文
信息与控制, 2011, 卷号: 40, 期号: 4, 页码: 477-482
Authors:  郑秀红;  胡静涛;  于海斌
Adobe PDF(376Kb)  |  Favorite  |  View/Download:481/24  |  Submit date:2012/05/29
随机petri网  模型  集束装备  马尔可夫链分析  吞吐率  机械臂  晶圆  加工过程  腔体  利用率  
引入周期性维护的基束型装备SPN模型及仿真 期刊论文
计算机仿真, 2010, 卷号: 27, 期号: 11, 页码: 354-358
Authors:  郑秀红;  于海斌;  胡静涛
Adobe PDF(674Kb)  |  Favorite  |  View/Download:492/102  |  Submit date:2012/05/29
集束型装备  故障  周期性维护  模型  仿真  
基于SEMI标准的SECS通信方法 专利
专利类型: 发明授权, 专利号: CN101552794B, 公开日期: 2009-10-07, 授权日期: 2011-12-14
Inventors:  于海斌;  王宏;  林跃;  徐皑冬;  周建辉;  康凯;  刘明哲;  王水涛
Adobe PDF(473Kb)  |  Favorite  |  View/Download:308/42  |  Submit date:2014/04/16
基于SEMI标准的SECS通信方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101552794A, 公开日期: 2009-10-07, 授权日期: 2011-12-14
Inventors:  于海斌;  王宏;  林跃;  徐皑冬;  周建辉;  康凯;  刘明哲;  王水涛
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等离子增强化学气象沉积设备的控制方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101469418A, 公开日期: 2009-07-01, 授权日期: 2011-05-11
Inventors:  于海斌;  王宏;  林跃;  徐皑冬;  周建辉;  康凯;  刘明哲;  胡河春
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等离子增强化学气象沉积设备的控制方法 专利
专利类型: 发明授权, 专利号: CN101469418B, 公开日期: 2009-07-01, 授权日期: 2011-05-11
Inventors:  于海斌;  王宏;  林跃;  徐皑冬;  周建辉;  康凯;  刘明哲;  胡河春
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IC装备控制系统平台技术研究 会议论文
2008 7TH WORLD CONGRESS ON INTELLIGENT CONTROL AND AUTOMATION, VOLS 1-23, Chongqing, China, June 25-27, 2008
Authors:  刘明哲;  徐皑冬;  于海斌;  王宏
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集成电路  控制系统  半导体  Semi标准