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纳米银均匀喷射过程的数值计算与仿真 期刊论文
机械设计与制造, 2016, 期号: 10, 页码: 125-127, 131
Authors:  张磊;  朱云龙;  程晓鼎;  王驰远
Adobe PDF(331Kb)  |  Favorite  |  View/Download:182/19  |  Submit date:2016/11/21
微滴喷射  纳米银  流体体积法  
一种基于CAN总线的胶泵控制系统及其控制方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104675684A, 公开日期: 2015-06-03, 授权日期: 2017-03-01
Inventors:  胡静涛;  张吉龙;  曹云侠;  迟浩东;  白晓平;  胡和春
Adobe PDF(1342Kb)  |  Favorite  |  View/Download:262/53  |  Submit date:2015/07/01
一种基于CAN总线的胶泵控制系统 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: CN203730271U, 公开日期: 2014-07-23, 授权日期: 2014-07-23
Inventors:  胡静涛;  张吉龙;  曹云侠;  迟浩东;  白晓平;  胡和春
Adobe PDF(1312Kb)  |  Favorite  |  View/Download:364/54  |  Submit date:2014/07/31
基于CAN总线的胶泵控制系统设计与实现 期刊论文
小型微型计算机系统, 2014, 卷号: 35106-108页, 期号: S, 页码: 106-108
Authors:  张吉龙;  胡静涛;  曹云侠;  迟浩东
Adobe PDF(261Kb)  |  Favorite  |  View/Download:322/70  |  Submit date:2014/12/29
胶泵控制器  Can总线  实时操作系统  涂胶显影设备  
基于Win32的动态线程池技术研究与应用 期刊论文
小型微型计算机系统, 2013, 卷号: 34, 期号: S, 页码: 45-48
Authors:  张吉龙;  胡静涛
Adobe PDF(250Kb)  |  Favorite  |  View/Download:381/70  |  Submit date:2013/12/27
动态线程池  缓冲机制  Win32  设备前端模块  
半导体制造过程R2R控制方法研究进展 期刊论文
现代制造工程, 2013, 期号: 3, 页码: 4-10,99
Authors:  王亮;  胡静涛;  王志艳
Adobe PDF(661Kb)  |  Favorite  |  View/Download:392/75  |  Submit date:2013/10/05
半导体制造  过程控制  R2r控制方法  指数加权移动平均  预测控制  
CMP过程Run-to-Run预测控制方法研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2012
Authors:  王亮
Adobe PDF(1410Kb)  |  Favorite  |  View/Download:767/18  |  Submit date:2012/07/27
半导体制造  化学机械研磨  Run-to-run控制  预测控制  过程控制  
并行集束型半导体装备稳态吞吐量模型研究 期刊论文
半导体技术, 2012, 卷号: 37, 期号: 11, 页码: 869-873
Authors:  郑秀红;  胡静涛
Adobe PDF(386Kb)  |  Favorite  |  View/Download:491/125  |  Submit date:2012/12/28
并行  集束型装备  吞吐量  模型  晶圆  
单臂集束型装备随机Petri网模型与性能分析 期刊论文
沈阳化工大学学报, 2012, 卷号: 26, 期号: 4, 页码: 360-364,369
Authors:  郑秀红;  胡静涛
Adobe PDF(798Kb)  |  Favorite  |  View/Download:331/71  |  Submit date:2013/04/21
随机petri网  集束型装备  马尔可夫过程  吞吐量  
基于LS-SVM的光刻过程R2R预测控制方法 期刊论文
半导体技术, 2012, 卷号: 37, 期号: 6, 页码: 482-488
Authors:  王亮;  胡静涛
Adobe PDF(523Kb)  |  Favorite  |  View/Download:498/163  |  Submit date:2012/10/24
光刻过程  关键尺寸  最小二乘支持向量机  预测控制  批次控制  微粒群算法