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集束型半导体装备建模与仿真技术研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2011
Authors:  郑秀红
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半导体制造  集束型  随机petri网  建模  仿真  
有滞留时间约束的集束型装备在线调度问题研究 期刊论文
控制与决策, 2011, 卷号: 26, 期号: 1, 页码: 37-43,48
Authors:  李林瑛;  胡静涛
Adobe PDF(895Kb)  |  Favorite  |  View/Download:1501/62  |  Submit date:2012/05/29
半导体制造  集束型装备  在线调度  粒子群优化算法  滞留时间约束  晶圆  问题研究  调度问题  机械手  调度方法  
基于随机Petri网的集束装备模型及马尔可夫链分析 期刊论文
信息与控制, 2011, 卷号: 40, 期号: 4, 页码: 477-482
Authors:  郑秀红;  胡静涛;  于海斌
Adobe PDF(376Kb)  |  Favorite  |  View/Download:480/24  |  Submit date:2012/05/29
随机petri网  模型  集束装备  马尔可夫链分析  吞吐率  机械臂  晶圆  加工过程  腔体  利用率  
基于C#控件技术的IC装备控制系统的图形元素可视化实现 会议论文
第二届亚太地区信息论学术会议论文集  , 浙江杭州, November 4-6, 2011
Authors:  金妮;  徐皑冬;  刘明哲;  李正
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C#  Ic装备  可视化  
光刻过程RtR控制方法研究进展分析 期刊论文
半导体技术, 2011, 卷号: 36, 期号: 3, 页码: 199-205
Authors:  王亮;  胡静涛
Adobe PDF(359Kb)  |  Favorite  |  View/Download:606/196  |  Submit date:2012/05/29
半导体制造业  光刻过程  Rtr控制  过程控制  模型预测控制  多变量控制器  控制方法  研究进展  关键尺寸  过程建模  
集束型半导体制造装备优化调度问题研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2010
Authors:  李林瑛
Adobe PDF(1851Kb)  |  Favorite  |  View/Download:917/11  |  Submit date:2012/07/27
半导体制造  集束型装备  数学规划模型  调度算法  集束型装备控制系统  
引入周期性维护的基束型装备SPN模型及仿真 期刊论文
计算机仿真, 2010, 卷号: 27, 期号: 11, 页码: 354-358
Authors:  郑秀红;  于海斌;  胡静涛
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集束型装备  故障  周期性维护  模型  仿真  
半导体制造两集束型装备调度模型和算法研究 期刊论文
系统仿真学报, 2010, 卷号: 22, 期号: 8, 页码: 1942-1946
Authors:  李林瑛;  胡静涛
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半导体制造  两集束型装备  调度  线性规划模型  
多集束型装备调度的k晶圆周期序列问题 期刊论文
计算机集成制造系统, 2010, 卷号: 16, 期号: 1, 页码: 109-114
Authors:  李林瑛;  胡静涛
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半导体制造  多集束型装备  双臂机械手  缓冲加工模块  并行机  调度  
基于SEMI标准的SECS通信方法 专利
专利类型: 发明授权, 专利号: CN101552794B, 公开日期: 2009-10-07, 授权日期: 2011-12-14
Inventors:  于海斌;  王宏;  林跃;  徐皑冬;  周建辉;  康凯;  刘明哲;  王水涛
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