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直驱型真空机械手控制方法研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2010
Authors:  黄梁松
Adobe PDF(2304Kb)  |  Favorite  |  View/Download:491/13  |  Submit date:2012/07/27
直驱型真空机械手  三相独立h桥  低频谐振控制  机械手模型  模型校正控制