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集束型半导体装备建模与仿真技术研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2011
Authors:  郑秀红
Adobe PDF(6647Kb)  |  Favorite  |  View/Download:925/15  |  Submit date:2012/07/27
半导体制造  集束型  随机petri网  建模  仿真  
光刻过程RtR控制方法研究进展分析 期刊论文
半导体技术, 2011, 卷号: 36, 期号: 3, 页码: 199-205
Authors:  王亮;  胡静涛
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半导体制造业  光刻过程  Rtr控制  过程控制  模型预测控制  多变量控制器  控制方法  研究进展  关键尺寸  过程建模  
球磨机水泥生料粉磨过程先进控制系统研究与应用 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2010
Authors:  吴星刚
Adobe PDF(2189Kb)  |  Favorite  |  View/Download:440/6  |  Submit date:2012/07/27
球磨机  生料粉磨  仿真环境  先进控制  粒子群优化  
集束型半导体制造装备优化调度问题研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2010
Authors:  李林瑛
Adobe PDF(1851Kb)  |  Favorite  |  View/Download:795/11  |  Submit date:2012/07/27
半导体制造  集束型装备  数学规划模型  调度算法  集束型装备控制系统  
基于人工免疫算法的精铜板带加工配料优化 期刊论文
控制与决策, 2010, 卷号: 25, 期号: 7, 页码: 1093-1097
Authors:  常春光;  朱云龙;  胡琨元;  张毅
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精铜板带  配料  多目标优化  人工免疫算法  亲和力  
基于BPEL的工作流引擎的研究和实现 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2009
Authors:  郝荣彬
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工作流  网络服务  业务流程执行语言  工作流引擎  
基于元数据的数据集成系统的设计与实现 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2009
Authors:  段忠俊
Microsoft Word(5402Kb)  |  Favorite  |  View/Download:398/9  |  Submit date:2010/11/29
数据集成  元数据  插件  工作流  
基于契约的客户需求驱动型供应链分销协调研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2009
Authors:  周小明
Microsoft Word(8172Kb)  |  Favorite  |  View/Download:358/8  |  Submit date:2010/11/29
契约  博弈理论  供应链分销协调  客户需求  面向服务架构  
基于时间序列数据挖掘的旋转机械预诊断方法研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2009
Authors:  吴薇
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预诊断  时间序列数据挖掘  旋转机械  
水泥烧成过程的建模与控制研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2009
Authors:  王卓
Microsoft Word(4541Kb)  |  Favorite  |  View/Download:496/18  |  Submit date:2010/11/29
水泥烧成过程  动态机理模型  过程控制  分形理论  工况识别