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农业机械自动导航技术研究进展 期刊论文
农业工程学报, 2015, 卷号: 31, 期号: 10, 页码: 1-10
Authors:  胡静涛;  高雷;  白晓平;  李逃昌;  刘晓光
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基于模糊模型的CMP过程智能R2R预测控制方法 期刊论文
计算机测量与控制, 2012, 卷号: 20, 期号: 6, 页码: 1558-1561
Authors:  王亮;  胡静涛
Adobe PDF(1700Kb)  |  Favorite  |  View/Download:446/85  |  Submit date:2012/12/28
化学机械研磨  T-s模糊模型  批次控制  预测控制  克隆选择  
基于灰色模型的CMP过程免疫预测R2R控制 期刊论文
仪器仪表学报, 2012, 卷号: 33, 期号: 2, 页码: 306-314
Authors:  王亮;  胡静涛
Adobe PDF(720Kb)  |  Favorite  |  View/Download:594/149  |  Submit date:2012/10/24
化学机械研磨  灰色模型  克隆选择  预测控制  Run-to-run控制  
光刻过程RtR控制方法研究进展分析 期刊论文
半导体技术, 2011, 卷号: 36, 期号: 3, 页码: 199-205
Authors:  王亮;  胡静涛
Adobe PDF(359Kb)  |  Favorite  |  View/Download:597/196  |  Submit date:2012/05/29
半导体制造业  光刻过程  Rtr控制  过程控制  模型预测控制  多变量控制器  控制方法  研究进展  关键尺寸  过程建模