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| 对称双连杆型真空机械手的动力学建模与控制研究 学位论文 博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2013 Authors: 黄玉钏
Adobe PDF(2395Kb)  |   Favorite  |  View/Download:484/36  |  Submit date:2013/08/19 真空机械手 运动学建模 轨迹规划 非均匀b 样条曲线 动力学建模 拉格朗日方法 模型预测控制 |
| 玻璃基板搬运机器人参数辨识与误差补偿方法研究 学位论文 博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2013 Authors: 冯亚磊
Adobe PDF(4208Kb)  |   Favorite  |  View/Download:608/57  |  Submit date:2013/08/19 玻璃基板搬运机器人 零位参数 柔性参数 运动学参数 参数辨识 绝对定位误差 误差补偿 |
| 半导体设备前端模块关键技术的研究与应用 学位论文 硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2013 Authors: 褚金钱
Adobe PDF(2697Kb)  |   Favorite  |  View/Download:470/9  |  Submit date:2013/08/19 装载端口 预对准 坐标系标定 |
| FROG-LEG型真空机械手的动力学控制研究 期刊论文 四川大学学报(工程科学版), 2013, 卷号: 45, 期号: 3, 页码: 158-163 Authors: 黄玉钏; 曲道奎; 徐方
Adobe PDF(564Kb)  |   Favorite  |  View/Download:725/123  |  Submit date:2013/10/05 真空机械手 动力学 拉格朗日方程 转子磁链定向 动力学仿真 |
| 基于连杆理论的装载端口开门机构设计与运动学仿真 期刊论文 中国机械工程, 2013, 卷号: 24, 期号: 17, 页码: 2362-2367 Authors: 褚金钱; 徐方
Adobe PDF(565Kb)  |   Favorite  |  View/Download:287/39  |  Submit date:2013/12/26 装载端口 仿真模型 平面连杆机构 运动学 |
| 真空机械手碰撞检测及轨迹优化 学位论文 博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2011 Authors: 邹风山
Adobe PDF(3781Kb)  |   Favorite  |  View/Download:630/33  |  Submit date:2012/07/27 真空机械手 碰撞检测 轨迹规划 开放式控制系统 |
| 直驱型真空机械手控制方法研究 学位论文 博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2010 Authors: 黄梁松
Adobe PDF(2304Kb)  |   Favorite  |  View/Download:571/20  |  Submit date:2012/07/27 直驱型真空机械手 三相独立h桥 低频谐振控制 机械手模型 模型校正控制 |