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一种具有纳米定位精度的四自由度微动平台的研制 期刊论文
机器人, 2003, 卷号: 25, 期号: 3, 页码: 213-216
Authors:  张江波;  朱涛;  王越超;  谈大龙
Adobe PDF(95Kb)  |  Favorite  |  View/Download:376/106  |  Submit date:2010/11/29
微机器人  压电陶瓷微驱动  微装配  微操作