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并行集束型半导体装备稳态吞吐量模型研究 期刊论文
半导体技术, 2012, 卷号: 37, 期号: 11, 页码: 869-873
Authors:  郑秀红;  胡静涛
View  |  Adobe PDF(386Kb)  |  Favorite  |  View/Download:468/121  |  Submit date:2012/12/28
并行  集束型装备  吞吐量  模型  晶圆  
单臂集束型装备随机Petri网模型与性能分析 期刊论文
沈阳化工大学学报, 2012, 卷号: 26, 期号: 4, 页码: 360-364,369
Authors:  郑秀红;  胡静涛
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随机petri网  集束型装备  马尔可夫过程  吞吐量  
基于随机Petri网的集束装备模型及马尔可夫链分析 期刊论文
信息与控制, 2011, 卷号: 40, 期号: 4, 页码: 477-482
Authors:  郑秀红;  胡静涛;  于海斌
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随机petri网  模型  集束装备  马尔可夫链分析  吞吐率  机械臂  晶圆  加工过程  腔体  利用率  
引入周期性维护的基束型装备SPN模型及仿真 期刊论文
计算机仿真, 2010, 卷号: 27, 期号: 11, 页码: 354-358
Authors:  郑秀红;  于海斌;  胡静涛
Adobe PDF(674Kb)  |  Favorite  |  View/Download:449/101  |  Submit date:2012/05/29
集束型装备  故障  周期性维护  模型  仿真