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一种柔性微电极的制造方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN109970023A, 公开日期: 2019-07-05,
Inventors:  刘连庆;  于海波;  关涛;  刘娜;  李盼
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基于光诱导电化学沉积的金属微电极加工方法 期刊论文
传感技术学报, 2017, 卷号: 30, 期号: 5, 页码: 650-654
Authors:  关涛;  丛培田;  刘柱
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光诱导电化学反应  金属微电极  原子力显微镜  电极沉积