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基于随机方法的AFM探针位置最优估算研究 期刊论文
仪器仪表学报, 2017, 卷号: 38, 期号: 9, 页码: 2120-2129
Authors:  袁帅;  尧晓;  栾方军;  郭耸;  冯吉远
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探针精确定位  运动模型  局部扫描  Kalman滤波  参数标定