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面向半导体制造设备的数据采集实现方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN103491059A, 公开日期: 2014-01-01,
Inventors:  刘明哲;  徐皑冬;  叶家发;  王亚楠
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SNMP在半导体装备控制系统中的应用 期刊论文
机械设计与制造, 2013, 期号: 1, 页码: 72-74
Authors:  王亚楠;  刘明哲;  叶家发
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简单网络管理协议  snmp++开发包  半导体  通信系统  一致性需求  不间断电源  
面向半导体设备的Interface A通信技术研究与开发 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2012
Authors:  叶家发
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工厂自动化  Semi  Interface a  设备数据采集  
Research and implementation of the interface a data collection management 会议论文
2012 2nd International Conference on Consumer Electronics, Communications and Networks (CECNet), Yichang, China, April 21-23, 2012
Authors:  Ye JF(叶家发);  Liu MZ(刘明哲);  Wang YN(王亚楠)
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Semiconductor Equipment  Factory Automation  Interface a  Data Collection  
面向半导体设备的Interface A通信方法研究 期刊论文
机械设计与制造, 2012, 期号: 5, 页码: 273-275
Authors:  叶家发;  刘明哲
View  |  Adobe PDF(229Kb)  |  Favorite  |  View/Download:557/156  |  Submit date:2012/10/24
半导体设备  Interface a  数据采集  工厂自动化