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压电式快速倾斜镜迟滞特性及实验研究 期刊论文
光学学报, 2018
Authors:  于志亮;  姜晓明;  王岩;  曹开锐;  李松
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快速倾斜镜  压电陶瓷执行器  迟滞特性  改进pi迟滞模型