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基于原子力显微镜技术的峰值力轻敲与扭转共振复合方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN110763873A, 公开日期: 2020-02-07,
Inventors:  刘连庆;  施佳林;  于鹏;  苏全民
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无权访问的条目 专利
Inventors:  刘连庆;  李萌;  施佳林;  于鹏;  刘志华
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Manipulation using microrobot driven by optothermally generated surface bubble 会议论文
2019 International Conference on Robotics and Automation, ICRA 2019, Montreal, QC, Canada, May 20-24, 2019
Authors:  Dai LG(代利国);  Ge ZX(葛治星);  Jiao ND(焦念东);  Shi JL(施佳林);  Liu LQ(刘连庆)
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无权访问的条目 会议论文
Authors:  Zhang C(张闯);  Shi JL(施佳林);  Wang WX(王文学);  Wang YC(王越超);  Liu LQ(刘连庆)
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基于纳米操作机器人的超声加工与检测协同设计研究 学位论文
博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2018
Authors:  施佳林
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纳米操作机器人  原子力显微镜  超声纳米加工  加工检测  纳米器件  
Fabrication of Sub-Micrometer-Sized MoS2 Thin-Film Transistor by Phase Mode AFM Lithography 期刊论文
Small, 2018, 卷号: 14, 期号: 49, 页码: 1-6
Authors:  Liu LQ(刘连庆);  Shi JL(施佳林);  Li M(李萌);  Yu P(于鹏);  Yang T(杨铁);  Li GY(李广勇)
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AFM lithography  MoS2  TFT fabrication  
无权访问的条目 期刊论文
Authors:  Li M(李萌);  Shi JL(施佳林);  Wang YC(王越超);  Liu LQ(刘连庆)
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一种基于超声AFM的纳米薄膜厚度检测装置及其方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN107192857A, 公开日期: 2017-09-22,
Inventors:  刘连庆;  施佳林;  于鹏;  李广勇
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一种基于相位反馈的超声AFM闭环纳米加工装置和方法 专利
专利类型: 发明授权, 专利号: CN107188116B, 公开日期: 2017-09-22, 授权日期: 2019-03-22
Inventors:  刘连庆;  施佳林;  于鹏;  李广勇
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一种基于相位反馈的超声AFM闭环纳米加工装置和方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN107188116A, 公开日期: 2017-09-22, 授权日期: 2019-03-22
Inventors:  刘连庆;  施佳林;  于鹏;  李广勇
Adobe PDF(652Kb)  |  Favorite  |  View/Download:511/21  |  Submit date:2017/10/19