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一种多腔室晶圆加工设备传输控制系统 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN104281095A, 公开日期: 2015-01-14,
Inventors:  刘明哲;  徐皑冬;  王亚楠;  金妮;  王晨曦;  刘元锋
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面向半导体制造设备的数据采集实现方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN103491059A, 公开日期: 2014-01-01,
Inventors:  刘明哲;  徐皑冬;  叶家发;  王亚楠
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半导体装备物料传输软件平台研究与开发 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2013
Authors:  王亚楠
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半导体装备  软件平台  工厂自动化  物料传输系统  
SNMP在半导体装备控制系统中的应用 期刊论文
机械设计与制造, 2013, 期号: 1, 页码: 72-74
Authors:  王亚楠;  刘明哲;  叶家发
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简单网络管理协议  snmp++开发包  半导体  通信系统  一致性需求  不间断电源  
Research of Material Transfer Software Platform in IC Equipment Controlling System 会议论文
2013 4th IEEE International Conference on Software Engineering and Service Science (ICSESS), Beijing, China, May 23-25, 2013
Authors:  Wang YN(王亚楠);  Liu MZ(刘明哲);  Liu YF(刘元峰)
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Semiconductor Equipment Control System  Material Transfer  Versatility  Rapid Development  
Research and implementation of the interface a data collection management 会议论文
2012 2nd International Conference on Consumer Electronics, Communications and Networks (CECNet), Yichang, China, April 21-23, 2012
Authors:  Ye JF(叶家发);  Liu MZ(刘明哲);  Wang YN(王亚楠)
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Semiconductor Equipment  Factory Automation  Interface a  Data Collection