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虚拟半导体集束设备软件设计与开发 学位论文
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2008
Authors:  石泽兴
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半导体集束设备  验证  模拟  Petri网  Vrml  
基于VRML的虚拟IC集束装备建模与仿真 期刊论文
仪器仪表学报, 2008, 卷号: 29, 期号: S, 页码: 278-282
Authors:  石泽兴;  胡静涛
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Ic集束装备  晶圆加工  Vrml  Petri网  仿真