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一种基于二维反馈控制的AFM三维测量方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN110068707A, 公开日期: 2019-07-30,
Inventors:  刘连庆;  于鹏;  刘柱;  吴森;  杨洋;  马骏驰
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基于图像聚焦定位的AFM自动逼近方法研究 期刊论文
仪器仪表学报, 2018, 卷号: 39, 期号: 1, 页码: 58-67
Authors:  刘剑;  马骏驰;  于鹏;  魏阳杰;  袁帅
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原子力显微镜  自动逼近  自动聚焦  清晰度函数